Электромеханические микроустройства

Рассмотрены принципы формирования анодного оксида алюминия, приведены его основные физико-механические свойства, технологические методы получения планарных и объемных микроструктур. Выведены обобщенные универсальные формулы взаимодействия активных и реактивных сил в электростатических, электротоковых и др. микроактюаторах. Определены основные закономерности соотношения входных и выходных параметров в процессе полного функционального цикла. Предложена классификация электростатических микроустройств по конструктивному исполнению и приведены … Продолжить

автор (соавторы):
Николай Мухуров, Геннадий Ефремов
правообладатель
Издательский дом “Белорусская наука”
название оригинала:
Электромеханические микроустройства
выход в свет:
01.01.2012
ISBN:
978-985-08-1419-7
EAN:
9789850814197